[发明专利]电子部件的制造方法、电子部件及弹性表面波滤波器有效
| 申请号： | 03128667.4 | 申请日： | 2003-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN1450718A | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 高田英一;山本康治;乾谷源二;門田道雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H3/00 | 分类号： | H03H3/00;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 赵国华 |
| 地址： | 日本京都府*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种电子部件的制造方法，该制造方法不需要特别的装置，且不需要昂贵的气体，该电子部件具有电阻率小且膜硬度高及弯曲少的由α相钨构成的电极膜。该电子部件的制造方法包括：在100～300℃的基板温度下，由溅射法在基板上形成由α相钨构成的电极膜的电极膜形成工序；加工该电极膜成所希望的形状的工序；热处理电极膜的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 部件 制造 方法 弹性 表面波 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种电子部件的制造方法，其特征在于，包括：在100～300℃的基板温度下，由溅射法在基板上形成由α相钨构成的电极膜的电极膜形成工序；加工上述电极膜成所希望的形状的工序；热处理上述电极膜的工序。
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