[发明专利]化学制剂供给装置有效
| 申请号： | 03128555.4 | 申请日： | 2003-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN1456709A | 公开（公告）日： | 2003-11-19 |
| 发明（设计）人： | 裵正龙;安斗根 | 申请（专利权）人： | 韩国DNS株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H01L21/306;H01L21/465;B01F15/04 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余朦,张耀山 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学制剂供给装置，该装置包括：第一个槽，其中至少有两种由供给槽提供的化学制剂被混合起来；循环装置，用于对第一槽中的化学制剂进行循环并使之均匀混合；第二个槽，用于存储由第一槽提供的混合溶液；分配器，用于对混合溶液进行分配以向各处理单元提供混合溶液；以及加热单元，它安装在为分配器供给混合溶液的供给管上，用于加热混合溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 制剂 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.一种化学制剂供给装置，包括：第一个槽，其中至少有两种由供给槽提供的化学制剂被混合起来；循环装置，用于对第一槽中的化学制剂进行循环并使之均匀混合；第二个槽，用于存储由第一槽提供的混合溶液；分配器，用于对混合溶液进行分配以向各处理单元提供混合溶液；以及加热单元，它安装在为分配器供给混合溶液的供给管上，用于加热混合溶液。
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