[发明专利]一种制造掺稀土光纤预制棒的方法有效
申请号: | 03128323.3 | 申请日: | 2003-07-14 |
公开(公告)号: | CN1490267A | 公开(公告)日: | 2004-04-21 |
发明(设计)人: | 尹红兵;李诗愈;李进延;李海清;蒋作文;陈伟;刘学军 | 申请(专利权)人: | 烽火通信科技股份有限公司 |
主分类号: | C03B37/012 | 分类号: | C03B37/012;C03B37/014;C03B37/018;C03B20/00;C03C13/04;G02B6/00 |
代理公司: | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人: | 王和平 |
地址: | 430074湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种掺稀土光纤的工艺制造方法。这种工艺采用等离子体化学气相沉积,在圆管形的石英衬管内壁上沉积掺杂的二氧化硅层。反应所需的稀土化合物及其它共掺杂剂蒸气采用气柜和高温流量计进行蒸发和控制。这种方法由于采用了蒸发器将各种掺杂剂(稀土化合物及共掺杂剂)如同在制造常规光纤时的四氯化硅、四氯化锗一样直接输送到反应管内,进行直接沉积,避免了溶液法引入的污染,而且保证了掺杂的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 制造 稀土 光纤 预制 方法 | ||
【主权项】:
1、一种制造掺稀土光纤预制棒的方法,其特征是:它采用等离子体化学气相沉积工艺,具体包括以下步骤:在石英玻璃管内通入四氯化硅、氧气和掺杂物进行沉积,形成内包层,然后通入四氯化硅、四氯化锗、氧和掺杂物沉积形成芯层(1),再将四氯化硅、四氯化锗、稀土化合物以及共掺杂剂采用蒸发器蒸发后与氧气一起混合均匀,最后通入到石英玻璃管内沉积形成掺稀土的芯层(2),并用流量计控制各种气体流量,沉积完成后,在缩棒设备上将沉积管熔缩为实心预制棒。
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