[发明专利]微机械光开关的闩锁及制作无效
| 申请号： | 03127612.1 | 申请日： | 2003-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1542480A | 公开（公告）日： | 2004-11-03 |
| 发明（设计）人： | 梁静秋;董玮;明安杰;陈维友;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B26/08;G03F7/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于微光机电器件，涉及一种微机械光开关的闩锁它包括：微反射镜1、悬臂2、下层基片3、倾斜下电极8、倾斜绝缘层9、水平下电极10及水平绝缘层11，制作步骤：首先在衬底上涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、刻蚀掉闩锁图形的所在区域的水平绝缘层及水平下电极，然后将下层基片刻蚀到适当深度；再次涂胶、前烘、曝光、显影形成可动梳齿及闩胶图形；淀积电铸阴极；涂胶、前烘、曝光、显影形成闩锁图形后电铸；去胶，完成闩锁制作；与上层基片键合。本发明使光开关在“开”和“关”的瞬间动作，其它时间均处于自然状态。保证光开关只在反射与通光变换时加电压，解决了能耗高的问题。具有节省能量、位移－电压线性关系好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 开关 制作 | ||
【主权项】：
1、微机械光开关的闩锁，它包括：微反射镜(1)、悬臂(2)、下层基片(3)、倾斜下电极(8)、倾斜绝缘层(9)、水平下电极(10)及水平绝缘层(11)，倾斜下电极(8)及倾斜绝缘层(9)位于悬臂(2)的正下方，倾斜绝缘层(9)位于倾斜下电极(8)上方并与之接触，倾斜下电极(8)位于下层基片(3)上方并与之接触，水平下电极(10)位于下层基片(3)上方并与之接触，水平绝缘层(11)位于水平下电极(10)方并与之接触，其特征在于还包括有：固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)、闩(7)，固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)、闩(7)位于下层基片(3)的上方，其中固定梳齿(4)、锚点(6)与下层基片(3)接触，可动梳齿(5)和闩(7)悬浮在下层基片(3)的上方并有一定间隙；固定梳齿(4)、可动梳齿(5)、锚点(6)位于悬臂(2)的下方两侧，闩(7)的一部分位于悬臂(2)的下方两侧，闩(7)的另一部分靠近悬臂(2)的下方；固定梳齿(4)与可动梳齿(5)交叉耦合。
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