[发明专利]有机锆复合材料及其合成法、含有其的原料溶液及形成锆钛酸铅膜的方法无效
申请号: | 03127418.8 | 申请日: | 2003-08-06 |
公开(公告)号: | CN1480558A | 公开(公告)日: | 2004-03-10 |
发明(设计)人: | 冈村信吾;平社英之;曾山信幸;小木胜实;高山佳典 | 申请(专利权)人: | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
主分类号: | C23C16/18 | 分类号: | C23C16/18 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 钟守期;郭广迅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的有机锆复合材料具有接近有机铅化合物和有机钛化合物的相应分解温度的分解温度。原料溶液能够在宽的温度范围精确地控制PZT薄膜的组成。原料溶液,即使在与有机铅化合物混合时,使有机铅化合物反应的可能性也较小。本发明提供一种造成汽相裂解可能性较小的原料溶液。有机锆复合材料包含一种或至少两种含有作为配体的第一β二酮和结构不同于第一β二酮的第二β二酮两者的锆螯合物,其中,当含有至少两种锆螯合物时,配位成至少两种锆螯合物的第一β二酮和第二β二酮的配位数依各自锆螯合物而变化。 | ||
搜索关键词: | 有机 复合材料 及其 成法 含有 原料 溶液 形成 锆钛酸铅膜 方法 | ||
【主权项】:
1.一种有机锆复合材料,其包含一种或至少两种包含作为配体的第一β二酮和结构不同于第一β二酮的第二β二酮两者的锆螯合物,其中,当有机锆复合材料含有至少两种锆螯合物时,配位成至少两种锆螯合物的第一β二酮和第二β二酮的配位数依各自锆螯合物而变化。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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