[发明专利]一种电容式指纹感测器及其制造方法

摘要

一种电容式指纹感测器，可抗静电破坏及防残污干扰，包含一基板、复数个平板电极、一金属网、复数个静电放电单元、复数个焊垫及一保护层。平板电极、焊垫及金属网系位于基板上的同一高度，并由同一材料所形成。静电放电单元连接至金属网以及接地端，并通过复数个第一开口而裸露，藉以使手指的静电得以流至接地端。金属网系由保护层覆盖住而不裸露，且静电放电单元的数目远小于平板电极的数目，使能减少残污干扰所撷取的指纹影像。

主权项

1、一种电容式指纹感测器，包含：一内含集成电路的矽基板；复数个平板电极，以阵列排列的方式形成于该基板上；一金属网，纵横地穿设于该等平板电极之间并与该等平板电极齐平，且包围各该平板电极，该金属网连接至一接地端；复数个静电放电单元，与该金属网连接，并形成于该等平板电极中的预定数目的相邻的平板电极之间，该等静电放电单元的数目小于该等平板电极的数目；复数个焊垫，作为该电容式指纹感测器的输入与输出部分；及一保护层，完全覆盖于该等平板电极及该金属网，并局部覆盖于该等静电放电单元及该等焊垫之上，藉以于该等静电放电单元上形成复数的第一开口，并于该等焊垫之上形成复数的第二开口，各该第一开口的尺寸小于各该第二开口的尺寸。