[发明专利]电子显微镜无效
| 申请号： | 03123107.1 | 申请日： | 2003-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN1518049A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 林原光男;日高贵志夫;堀内寿晃;藤枝正;沼田义道;铃木修一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种省空间且具有可搬运性、起动时间短、减少用户的心理负担的电子显微镜。作为构成要素，至少包括安装在真空容器上的电子源、真空泵、被测样品保持架以及电子射线检测器、控制电子射线的轨迹的电子透镜、基于通过电子射线检测器得到的信号显示图像的显示器、控制电源，且一体化这些要素，在显示器的背面侧设置真空容器、电子源、真空泵、电子射线检测器、电子透镜以及控制电源，从位于显示器的下方的部分进行被检测样品的取放。根据本发明，可以实现解决上述课题的、到处可以存放的用户的心理负担少的电子显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微镜，其特征在于：具有电子显微镜框架和设置在电子显微镜框架上的显示器，在上述电子显微镜框架内部具有并一体化了真空容器、对该真空容器进行真空排气的真空泵、安装在该真空容器上方的电子源、安装在上述真空容器下方并可以从上述电子显微镜框架突出出来的被测样品室、以及检测来自设置在该被测样品室的样品的电子射线的检测器。
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