[发明专利]一种陶瓷基座无效
| 申请号： | 03122977.8 | 申请日： | 2003-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN1453095A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | 柊平启;夏原益宏;仲田博彦 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K31/00 | 分类号： | B23K31/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘晓峰 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种陶瓷基座，其固定晶片面具有很好的等温性，适用于半导体装置和液晶装置。在盘状烧结体1中，设置电阻加热元件2。烧结陶瓷体外边界1a和电阻加热区域外边界2a之间的拉伸距离L的变化范围为±0.8％，固定晶片面的整个表面的额定等温线变化范围在±1.0％左右，并且当所述的L控制在±0.5％时，额定等温线控制在±0.5％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 基座 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷基座，包括：一盘状烧结陶瓷体；一电阻加热元件，位于所述陶瓷体内或表面上，所述的电阻加热元件形成一个具有外边界的区域；其特征在于：烧结陶瓷体外边界和电阻加热区域外边界之间的拉伸距离的变化范围为±0.8％。
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