[发明专利]液晶显示器制造设备的湿式处理槽及流体供应系统有效
| 申请号： | 03122213.7 | 申请日： | 2003-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN1453607A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | 朴庸硕;金相镐;李硕周 | 申请（专利权）人： | 显像制造服务株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种液晶显示器制造设备的流体供应系统及湿式处理槽。流体供应系统包括一整合储存槽的处理槽，其将流体收集槽与流体储存槽整合。此小尺寸的储存槽个别提供至每一个处理槽上。此外，湿式处理槽的主体由表面披覆有化学物抵抗材质的耐久材质所制成。因此，湿式处理单元皆可被广泛地使用，不会因为不同型态的化学流体而有所影响。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示器 制造 设备 处理 流体 供应 系统 | ||
【主权项】：
1、一种液晶显示器制造设备的流体供应系统，其特征在于，包括：一整合储存槽的处理槽，包括一处理单元及/或一储存槽，且该储存槽整合于该处理槽中；一流体供应单元，供应附着于该处理单元中的复数个基板上，并随着该些基板一并排至该整合储存槽的处理槽外的流体；一泵，将储存于该整合储存槽的处理槽的中流体以及从该流体供应单元所供应的流体提供至该处理单元；以及复数个管线，将包含有该处理单元的该整合储存槽的处理槽以及该流体供应单元与该泵连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于显像制造服务株式会社，未经显像制造服务株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03122213.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带电防止用分散液与带电防止膜及图像显示装置
- 下一篇：可调节的防裂装置
