[发明专利]压电致动器、包含它的液体喷头及其制造方法无效
申请号: | 03120708.1 | 申请日: | 2003-03-18 |
公开(公告)号: | CN1445919A | 公开(公告)日: | 2003-10-01 |
发明(设计)人: | 张俊华 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H02N2/04 | 分类号: | H02N2/04;B41J2/045 |
代理公司: | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人: | 杜娟 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电致动器,包含此致动器的液体喷头和制造此致动器与喷头的方法,其中:设定为预定电位的第一公共电极在振动板上形成。第一公共电极具有一个第一邻近部分和从第一邻近部分延伸出来的第一分支部分。每一个第一分支部分上层叠一个第一压电层。每一个第一压电层上层叠一个驱动电极。每一个驱动电极上层叠一个第二压电层。设定为预定电位的第二公共电极具有一个第二邻近部分和从第二邻近部分延伸出来的第二分支部分,使得每一个第二压电层上层叠一个第二分支部分。一个导电部件电气连接第一邻近部分和第二邻近部分。 | ||
搜索关键词: | 压电 致动器 包含 液体 喷头 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种压电致动器,包括:振动板;形成在振动板上并设定为预定电位的第一公共电极,第一公共电极具有一个第一邻近部分和从所述邻近部分延伸出来的第一分支部分;第一压电层,叠放在每一个第一分支部分上;驱动电极,叠放在每一个第一压电层上;第二压电层,叠放在每一个驱动电极上;第二公共电极,第二公共电极具有一个第二邻近部分和从所述邻近部分延伸出来的第二分支部分,使得每一个第二分支部分叠放在每一个第二压电层上,第二压电层要被保持在预定电位;以及导电部件,将第一邻近部分和第二邻近部分电气连接。
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