[发明专利]温度传感器无效
申请号: | 03120070.2 | 申请日: | 2003-03-12 |
公开(公告)号: | CN1444235A | 公开(公告)日: | 2003-09-24 |
发明(设计)人: | 卡尔·海因茨·维南德;托马斯·洛泽 | 申请(专利权)人: | 贺利氏森硕耐特有限公司 |
主分类号: | H01C7/00 | 分类号: | H01C7/00;G01K7/18 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 楼仙英,曾建成 |
地址: | 联邦德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种温度传感器,在单晶衬底的表面上具有温敏元件,其中该温敏元件由铂薄膜电阻器制成,并且将其制作为外延层。 | ||
搜索关键词: | 温度传感器 | ||
【主权项】:
1.一种温度传感器,在单晶衬底的表面上具有温敏元件,其中该温敏元件由铂薄膜电阻器构成,其特征在于,将铂薄膜电阻器制作为外延层。
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