[发明专利]基片传送机构无效
| 申请号： | 03119361.7 | 申请日： | 2003-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN1449980A | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 山下大树;大木智范;萩原慎二 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | B65H5/22 | 分类号： | B65H5/22;B65G49/07;H05K13/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基片传送机构，它能稳定地对基片进行传送而不会使基片掉落，而且在基片上不会粘附灰尘，不会使所传送的基片产生裂纹和损坏，此外，它还能在对基片进行固化时，简单地利用光强度相同的紫外线对基片两侧同时进行固化。基片传送机构2包括：一些传送辊2a，用于支撑着基片W两端传送基片；传送辅助机构3，利用当前被传送辊2a支撑着的基片W下部的气体以非接触的方式来支撑着基片W，其中，传送辅助机构3包括：一些沿着基片W布置并具有预定长度的空气管3a；以及一些吹气孔3b，被设置在所说的空气管3a中，所说的吹空气管3a是由能被紫外线穿过的透射性元件制成的。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 机构 | ||
【主权项】：
1、一种用于紫外线辐射装置的基片传送机构，该紫外线辐射装置在传送期间把紫外辐射到基片表面上，所说的基片传送机构包括：传送辊，用于传送基片，并支撑着所说基片的两端；传送辅助机构，利用位于被所说传送辊支撑着的基片下部的气体以一种非接触的状态支撑着所说的基片；所说传送辅助机构具有：一些空气管，这些空气管被沿着所说基片布置，并具有预定的长度；以及一些吹气孔，这些吹气孔被设置在所说的这些空气管上，并且所说的空气管是由能让紫外线穿过的透射性元件制成的。
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