[发明专利]一种碳纳米管阵列结构及其制备方法有效
| 申请号： | 03114057.2 | 申请日： | 2003-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1532143A | 公开（公告）日： | 2004-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;C23C16/00;B01J23/74 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳纳米管阵列结构，其包括一基底、形成于基底上的催化剂层、及在催化剂层上长出的碳纳米管阵列，其特征在于该催化剂层包括多个不同尺寸大小的纳米级催化剂颗粒，且该催化剂颗粒的尺寸大小沿一特定方向递减，该碳纳米管阵列向催化剂颗粒的尺寸递减的方向弯曲。本发明同时还揭露了一种制备上述碳纳米管阵列结构的方法。其步骤包括：(1)在基底的上表面上形成催化剂层，该催化剂层的厚度沿一特定方向递增；(2)在保护气氛下退火，使催化剂层收缩成为纳米级催化剂颗粒；(3)通入碳源气，利用热化学气相沉积在上述催化剂颗粒上生长碳纳米管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 阵列 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一碳纳米管阵列结构，包括一基底、形成于基底上的催化剂层、及在催化剂层上长出的碳纳米管阵列，其特征在于该催化剂层包括多个不同尺寸大小的纳米级催化剂颗粒，且该催化剂颗粒的尺寸大小沿一特定方向递减，该碳纳米管阵列向催化剂颗粒的尺寸递减的方向弯曲。
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