[发明专利]具有晶种层的改进的谐振器有效
| 申请号： | 03109418.X | 申请日： | 2003-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN1472884A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 保罗·D·布拉德利;唐纳德·李;多明戈·A·菲格雷多 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/17;H03H9/19 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有晶种层(40)的薄膜谐振器(32)及其制造方法。该谐振器(32)具有晶种层(38)，有利于谐振器(32)的高品质压电层(17)的构造。该谐振器(32)具有晶种层(38)、一个底部电极(16)、压电层(17)和一个顶部电极(20)。该晶种层(40)采用与压电层(17)相同的材料，例如氮化铝(ALN)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 晶种层 改进 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种构造于衬底(14)之上的谐振器(32)，该谐振器(32)包括：晶种层部分(40)；在所述晶种层之上的底部电极(16)；在所述底部电极之上的压电部分(18)；和在所述压电部分之上的顶部电极(20)。
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