[发明专利]制备多层金属镀层复合膜的装置及其制造工艺

摘要

本发明涉及一种多层金属镀层复合膜的装置及制造工艺，包括电源，真空蒸发室，真空蒸发室内置有金属材料，真空蒸发室内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料，按蒸发时序进行蒸发。其工艺流程为：a、用真空泵对真空蒸发室进行抽真空；b、对真空蒸发室内的蒸发源通电、并低温预热蒸发材料；c、将低温预热好的蒸发材料用高温使蒸发材料蒸发进行镀膜；d、第一材料蒸发形成第一层镀膜，第二层材料再蒸发叠加于第一层膜之上，以后各膜蒸发材料依次类推，便形成多层金属镀层复合膜。具有操作简单，节省时间和能源，降低了生产成本，金属镀层互不污染与渗透，提高了产品质量等特点，有一定的经济和社会效益。

主权项

1、种制备多层金属镀层复合膜的装置，包括一个电源(1)，一个真空蒸发室(2)，真空蒸发室(2)内置有金属材料(3)，其特征在于真空蒸发室(2)内同时设有至少有两个或两个以上蒸发源(4、5)，在各自的蒸发源中放置不同的蒸发材料(3)，按蒸发时序进行蒸发。