[发明专利]有机电激发光显示器载具与基板的清洗方法

摘要

一种有机电激发光显示器载具与基板的清洗方法，其清洗流程为：先以纯水喷洒于载具或基板上并进行刷洗动作，以去除基板或载具上较大颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；再将载具或基板浸渍于数种交替溶剂中，并以超声波加速震荡该载具或基板，移除剩余较小颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；再将该载具或基板以特定方位设置于一蒸气浴槽中，该蒸气浴槽中的溶剂以特定功率加热形成蒸气状，借由蒸气状的溶剂中含有极少的污染物，获得极为洁净的蒸气溶剂，再将此蒸气溶剂以特定方式导流至载具或基板的待洗面，以确实移除该载具或基板表面所残留的微尘颗粒及污染物；最后再对载具或基板表面进行吹干、烘烤及改质作业，借以得到极为洁净的有机电激发光显示器载具与基板。

主权项

1.一种有机电激发光显示器载具与基板的清洗方法，其特征在于该方法包括如下步骤：a)将纯水喷洒于载具(T)与基板(T1)上并进行刷洗动作，以去除载具(T)与基板(T1)上较大颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；b)将载具(T)与基板(T1)浸渍于多种交替溶剂中，并以适当频率的超声波加速震荡该载具(T)与基板(T1)，以去除剩余较小颗粒的污染物及氢氧化钾溶液；c)利用一特定功率将清洗溶剂加热形成蒸气状，借由蒸气状的溶剂中含有极少的污染物，因此可获得极为洁净的蒸气溶剂，再将此蒸气溶剂以特定方式导流至载具(T)与基板(T1)的待洗面，借以清除该载具(T)与基板(T1)表面所残留的微尘颗粒及污染物；d)对载具(T)与基板(T1)表面进行吹干、烘烤。