[发明专利]铁电电容元件

摘要

一种铁电电容元件，由下部电极、铁电膜构成的电容绝缘膜和上部电极构成的铁电电容元件中的铁电膜具有：由Bi2O2构成的多个氧化铋层21、和由至少一个第1层(22)及至少一个第2层(23)构成的多个假钙钛矿层交互地叠层的铋层状结构。第1层(22)由BO4(其中，B是5价的金属)构成，第2层(23)由(A1－xBi2x/3)B2O7(其中，A是2价的金属，B是5价的金属，x满足条件0＜x＜1。)构成。由此，在将具有铋层状结构的铁电膜作为电容绝缘膜使用的铁电电容元件中，可防止因泄漏电流增加和耐压降低造成的不良现象的发生。

主权项

1.一种铁电电容元件，包括下部电极、由铁电膜构成的电容绝缘膜和上部电极，其特征在于：所述铁电膜具有多个氧化铋层和多个假钙钛矿层交互地叠层的铋层状结构；所述多个氧化铋层由Bi2O2构成；所述多个假钙钛矿层用由Am-1BmO3m+α构成的通式(1)来表示、且由m值相互不同的2种以上的层构成；其中，A是1价、2价或3价的金属，B是4价、5价或6价的金属，m是1以上的整数，在m为2以上的整数时，A之中的至少一个为Bi，α满足条件0≤α≤1。