[发明专利]含杂环鎓盐

摘要

本发明涉及适用于阳离子性光聚合引发剂、化学放大型抗蚀剂用酸发生剂的含杂环鎓盐，提供一种用通式[1](式中，R表示用通式[2]或通式[3]表示的基团)表示的含杂环的锍盐：如右式(1)、(2)或用通式[35]表示的含杂环的鎓盐，如式[35] (式中，R²⁶及R²⁷的至少一种是用上述通式[2]或[3]表示的基团)。

主权项

1.一种通式[1]或[35]表示的含杂环鎓盐，[式中，R表示通式[2]表示的基团或通式[3]表示的基团，(式中，R³及R⁴分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基、或者可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基，X₂表示氧原子或硫原子，i表示0～4的整数，j表示0～3的整数)；(式中，R⁵及R⁶分别独立并表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基、或者可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基，X₃及X₄分别独立且表示氧原子或硫原子，p表示0～2的整数，q表示0～3的整数)；R¹及R²分别独立且表示卤原子、可具有卤原子或芳基作为取代基的烷基、或者可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基，m及n分别独立且表示0～5的整数；A表示卤原子、或者来自无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，HM₁(R⁷)₄        [4](式中，M₁表示硼原子或镓原子，R⁷表示可具有选自卤代低级烷基、卤原子、硝基及氰基的取代基的芳基)]；[式中，R²⁶及R²⁷分别独立且表示可具有卤原子或低级烷基作为取代基的芳基、上述通式[2]表示的基团或通式[3]表示的基团，A₃表示卤原子、或者来自无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，但是，R²⁶及R²⁷中的至少一种是上述通式[2]或[3]表示的基团，另外，当R²⁶及R²⁷的任意一种中仅有一种是通式[2]或[3]表示的基团时，A₃表示来自通式[36]表示的无机强酸、有机酸或通式[4]表示的化合物的阴离子，HM₃F₆     [36](式中，M₃表示磷原子、砷原子或锑原子)]。