[发明专利]倒装芯片结合器及其方法有效
| 申请号: | 02826848.2 | 申请日: | 2002-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN1613146A | 公开(公告)日: | 2005-05-04 |
| 发明(设计)人: | 周辉星·吉米;刘帝福;林国耀;林友婷;阿卜杜拉·伊斯迈 | 申请(专利权)人: | 先进系统自动化有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/58;B65G49/07;B65G47/91 |
| 代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人: | 罗正云;宋志强 |
| 地址: | 新加坡54*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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| 摘要: | 倒装芯片结合器(100)包括一个带有多个拾取喷嘴(112A-D)的拾取转动架组件(110),以及一个带有多个放置喷嘴(117A-H)的放置转动架组件(115)。每个拾取喷嘴(112A-D)通过管芯的凸点化表面拾取管芯(107),并且将所拾取的管芯(107)转换角度到转移位置,从而翻转所拾取的管芯(107)。在转移位置(310),将所拾取的管芯转移到一个放置喷嘴(117A-H),此时管芯通过其背面被保持。将放置喷嘴转换角度到一个将助焊剂施加到管芯(107)上的助焊位置,并且进一步转换角度到一个将浸渍了助焊剂的管芯(107)放置到引线架(121)上的目标位置(122A)上的放置位置,管芯的凸点紧靠引线架(121)的引线部分。多个喷嘴(112A-D和117A-H)使得能够同时操作每个管芯(107),从而支持更高的生产能力。 | ||
| 搜索关键词: | 倒装 芯片 结合 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种元件安装装置,包括:至少一个具有多个拾取头的拾取组件,其中每个拾取头适合于拾取至少一个具有拾取方向的元件,相对于拾取方向将至少一个元件的方向改变到转移方向,并将至少一个具有转移方向的元件提供到转移位置;和至少一个与至少一个拾取组件相关联并具有多个放置头的放置组件,其中每个放置头适合于在转移位置从每个拾取头拾取至少一个具有转移方向的元件,并将至少一个具有转移方向的元件放置到放置位置上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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