[发明专利]点格栅阵列电子成像系统无效
| 申请号： | 02824638.1 | 申请日： | 2002-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1602430A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 吉拉德·艾茂基;奥兰·瑞奇斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/307 | 分类号： | G01R31/307;G01N23/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种克服现有系统的低分辨率和严格线性度要求的、高数据速率电子束点格栅阵列成像系统。该成像系统包括：电子束发生器，其同时辐照要成像的对象表面上互相分离的点阵列；以及检测器，其采集点与对象表面的相互作用发出的反向散射电子和/或二次电子，以形成对象表面上的辐照部分的图像。机械系统在平行于点阵列的轴线的方向移动对象，使得当衬底在扫描方向(y方向)在点阵列上移动时，该点跟踪在机械交叉扫描方向(x方向)不存在间隙的轨迹。诸如伺服机构或可运动反射镜的补偿器对运动工作台的机械不精确性进行补偿，从而提高成像精度。在其他实施例中，以衬底成不同角度设置的多个检测器采集电子以提供衬底表面的多个透视图像。 | ||
| 搜索关键词： | 格栅 阵列 电子 成像 系统 | ||
【主权项】：
1、一种成像器，该成像器包括：电子束发生器，用于同时对要成像的对象表面辐照互相隔离开的点阵列；检测器，用于采集点与对象表面的相互作用产生的信号，以形成对象表面上的辐照部分的图像；以及可运动工作台，用于支承对象，并这样移动对象，使得可以辐照并成像对象表面上的预定部分。
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