[发明专利]供气方法及其装置无效
| 申请号： | 02824130.4 | 申请日： | 2002-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN1599638A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 大见忠弘;石原良夫;中村章宽 | 申请（专利权）人： | 日本酸素株式会社;大见忠弘 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01D53/46;C01B23/00;H01L21/31 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在不受废气流量变化以及组成变化影响的条件下，有效地分离精制废气中的有用气体组分并再次供给、而且可以有效地补充所消耗的组分的供气方法及其装置。在回收气体使用设备中排出的废气，分离精制该废气中所含的有用气体组分，将得到的有用气体组分供给到上述气体使用设备中的供气方法中，在从上述气体使用设备中排出的废气中，添加与上述有用气体组分相同组分的补充气体后分离精制有用气体组分。 | ||
| 搜索关键词： | 供气 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、一种供气方法，是回收从气体使用设备中排出的废气，并分离精制该废气中所含的有用气体后，将得到的有用气体组分再供给到上述气体使用设备中的供气方法，其特征在于：在从上述气体使用设备排出的废气中，添加与上述有用气体组分同组分的补充气体后进行有用气体组分的分离精制。
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