[发明专利]用于原子层淀积的气体输送装置

摘要

一种用于实施循环层淀积法，如原子层淀积的装置和方法。在一种情况下，装置包括一个衬底支承件和一个室盖，上述衬底支承件具有一个接收衬底的表面，而上述室盖包括一个锥形通道和一个底部表面，上述锥形通道从室盖的中央部分延伸，而上述底部表面从通道延伸到室盖的周边部分，底部表面加工成一定的形状和尺寸，以便基本上盖住接收衬底的表面。装置还包括一个或多个阀和一个或多个气源，上述一个或多个阀连接到逐渐扩张的通道上，而上述一个或多个气源连接到每个阀上。

主权项

1.一种室，其包括：一个衬底支承件，所述衬底支承件具有一个接收衬底的表面；一个室盖，所述室盖包括一个逐渐扩展的通道和一个底部表面，上述逐渐扩展的通道从室盖的中央部分向下延伸，而上述底部表面从通道延伸到室盖的周边部分，底部表面加工成一定形状和尺寸，以便基本上盖住接收衬底的表面；一个或多个阀，上述一个或多个阀与逐渐扩展的通道成流体连通；及一个或多个气源，上述一个或多个气源与每个阀成流体连通。