[发明专利]非热等离子体狭缝放电设备无效
申请号: | 02821520.6 | 申请日: | 2002-11-04 |
公开(公告)号: | CN1579000A | 公开(公告)日: | 2005-02-09 |
发明(设计)人: | 瑟杰·巴布科-玛尔伊 | 申请(专利权)人: | 等离子体溶胶公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;B01J12/00;B01J19/08 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 美国新*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 非热常压等离子体反应器包括其中具有至少一个狭缝的主电介质和包括许多电极段的分段电极。每个电极段都靠近相关狭缝放置并与之流体相通。电介质中的狭缝可以用多种方法形成,例如许多狭缝确定在基本平坦的电介质板中。其它结构包括许多组合在一起的电介质段(例如棒、片、环、环状部分)从而在相邻电介质段之间形成狭缝。工作时,在分段电极和靠近主电介质放置的接收电极之间施加电压差以产生等离子体放电。等离子体放电通过主电介质中的狭缝发射出去。本发明的等离子体放电器件结构产生相对较大体积的相对较高的非热等离子体放电,但是制造起来仍相对简单且便宜。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 狭缝 放电 设备 | ||
【主权项】:
1.一种等离子体反应器,包含:主电介质,其中具有至少一个狭缝;以及分段电极,包括多个电极段,每个电极段靠近相关狭缝放置并与之流体相通。
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