[发明专利]薄膜晶体管器件及其制造方法无效
| 申请号: | 02819994.4 | 申请日: | 2002-10-10 |
| 公开(公告)号: | CN1568548A | 公开(公告)日: | 2005-01-19 |
| 发明(设计)人: | G·F·A·范德瓦尔勒;A·H·蒙特里 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/18;H01L29/423 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张雪梅;梁永 |
| 地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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| 摘要: | 电子器件包括薄膜晶体管(10)并且可以由两个基板(1,11)得到。为了避免在金属图形(24,29)和有机层(4)之间的未粘接界面处分层,金属图形(24,29)包括开口(30)。通过这些开口(30),可以实现有机层(4,5)和基板(11)之一的表面(111)处的有机材料之间的粘接。借助微接触印刷可以制造电子器件。 | ||
| 搜索关键词: | 薄膜晶体管 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电子器件,包括:基底基板(1),提供有其上存在金属的第一电极层(2)的表面,半导体材料的沟道层(5);介电材料的中间层(4),以及粘接基板(11),提供有其上存在金属的第二电极层(3)的有机材料的表面(111),在该电极层(2,3)、沟道层(5)以及中间层(4)中定义了薄膜晶体管(10),通过将提供有层(2,3,4,5)的基板(1,11)层叠在一起可以得到该电子器件,特征在于:第二电极层(3)包括导电表面(18,24,27,29),以及导电表面(18,24,27,29)具有开口(30),在开口中在粘接基板(11)的表面(111)的有机材料与选自中间层(4)、沟道层(5)和基底基板(1)的表面中的其中一层的有机材料之间出现粘附。
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