[发明专利]树脂模制品的制造方法有效
| 申请号： | 02818967.1 | 申请日： | 2002-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1599659A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 河原茂;西泰治;柳川幸弘 | 申请（专利权）人： | 可乐丽股份有限公司 |
| 主分类号： | B29C33/38 | 分类号： | B29C33/38 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安;杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的树脂模制品通过下列步骤制造，即在进行(a)基板上形成第1抗蚀剂层；(b)用掩模对第1抗蚀剂层进行曝光；(c)形成第2抗蚀剂层；(d)掩模的对位；(e)对第2抗蚀剂层进行曝光并在重复进行多次(c)～(e)的工序，直到形成预期的抗蚀剂厚度之后，经显像工序形成预期的抗蚀剂图案的抗蚀剂图案形成步骤；按照前述抗蚀剂图案，经电镀使金属结构体堆积在前述基板上的金属结构体形成步骤；以前述金属结构体为模具、形成树脂模制品的模制品形成步骤。由此提供一种精密、廉价的树脂模制品及其制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 制品 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种树脂模制品的制造方法，具有在基板上形成抗蚀剂层、用掩模进行曝光、显像的抗蚀剂图案形成步骤；按照在所述基板上形成的所述抗蚀剂图案，经电镀使金属结构体堆积的金属结构体形成步骤；以所述金属结构体为模具、形成树脂模制品的模制品形成步骤，其特征是，所述抗蚀剂图案形成步骤具有：在所述基板上形成第1抗蚀剂层并对该第1抗蚀剂层进行曝光的第1抗蚀剂图案形成步骤，在所述第1抗蚀剂层上形成第2抗蚀剂层并对该第2抗蚀剂层进行曝光或者曝光、显像的第2抗蚀剂图案形成步骤。
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