[发明专利]传送晶片的工具和外延生长台

摘要

一种用于传送半导体材料晶片(100)的工具(7)被设计成用在外延生长台中；工具(7)包括具有上面(21)和下面(22)的盘(20)，下面(22)被加工成仅沿着它的边缘(103)与晶片(100)接触；盘(20)内部设置有经由至少一个抽气孔(25)与盘(20)的外部联系并经由抽气口(26)与自动装置的臂的抽气管道联系的抽气室(24)；盘(20)整体覆盖晶片(100)并且抽气孔(25)通向盘(20)的下面(22)，由此当晶片(100)与盘(20)的下面(22)接触时，经由抽气由工具(7)固定晶片。

主权项

1.在优选为具有盘形基座的类型的外延生长台(1)中传送晶片(100)、特别是半导体材料晶片的工具(7)，工具(7)适于应用到用于自动地把晶片放入台(1)的反应室(2)内/从反应室(2)取出的自动装置(4)的臂(5)上，臂(5)设置有连接到抽气系统(3)的抽气管道(6)，工具(7)包括具有上面(21)和下面(22)的盘(20)，下面(22)的形状被加工成以便仅沿着晶片(100)的边缘(103)与晶片(100)接触，盘(20)内部设置有经由一个或多个抽气孔(25)与盘(20)的外部联通并经由抽气口(26)适于与抽气管道(6)联通的抽气室(24)，其特征在于盘(20)整个覆盖晶片(100)，抽气孔(25)通向盘(20)的下面(22)，由此当晶片(100)与盘(20)的下面(22)接触且抽气系统(30)工作时，经由抽气由工具(7)固定晶片(100)。