[发明专利]统括管理装置无效
| 申请号： | 02818472.6 | 申请日： | 2002-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1556941A | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 大西孝明;小室考广 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;G06F17/60 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的统括管理装置，其特征在于具有：多台检测、制造装置，它们布置在半导体器件的制造生产线上；用于检测、制造装置的计算机，它单独或者分组连接在上述各检测、制造装置上；用于管理的计算机，它通过通信线路而连接在上述各用于检测、制造装置的计算机上，其功能是与上述用于检测、制造装置的计算机之间对工作条件的各种信息或维修信息进行接收发送并统括管理；监视装置，它连接在该用于管理的计算机上；以及管理部，其功能是利用上述用于管理的计算机，对各用于检测、制造装置的计算机统括更改各检测、制造装置的工作条件；或者，对对维修信息进行监视，当检测出异常时发出催促维修的报警。 | ||
| 搜索关键词： | 统括 管理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种统括管理装置，其特征在于具有：多台检测、制造装置，它们布置在半导体器件的制造生产线上；用于检测、制造装置的计算机，它单独或者分组连接在上述各检测、制造装置上，具有根据工作条件的各种信息来进行动作控制的功能；用于管理的计算机，它通过通信线路而连接在上述各用于检测、制造装置的计算机上，其功能是与上述用于检测、制造装置的计算机之间对上述各检测、制造装置中所设定的工作条件的各种信息或上述每台检测、制造装置中所设定的维修对象项目的维修信息进行接收发送并统括管理；监视装置，它连接在该用于管理的计算机上，用于对上述各检测、制造装置的工作条件的各种信息或者上述每台检测、制造装置的维修对象项目的维修信息进行显示；以及管理部，其功能是利用上述用于管理的计算机，根据统括管理的上述各检测、制造装置的工作条件的各种信息，对各用于检测、制造装置的计算机统括更改各检测、制造装置的工作条件，或者是对上述每台检测、制造装置分别根据维修对象项目的维修信息，对上述各检测、制造装置的各个维修对象项目的维修信息进行监视，当检测出异常时发出催促维修的报警。
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