[发明专利]平面磁控管

摘要

在一个阳极和一个平面放置的靶之间，在第一方向上，提供一电场。提供一磁场，使其磁力线在第二个方向，所述第二方向基本垂直于所述第一方向。磁结构可以由永磁体和由可磁化的极靴形成，这些永磁体在水平方向径向伸展，象车轮的轮辐那样，这些可磁化的极靴从垂直于轮辐的相对端垂直伸展。这些永磁体和这些极靴形成一个井。将靶放置在该井中，以使它的平面放置方向与磁力线方向一致。惰性气体分子流过所述井。井中的电子在第三方向运动，此方向基本垂直于所述第一和所述第二方向。电子电离所述惰性气体分子。离子被吸引到所述靶并从所述靶表面溅射出原子。溅射原子沉积在基片上。在所述井中的反射体，靠近磁结构的径向的外壁，在一个实施例中，它靠近磁结构的径向的内壁，以阻止电子碰撞永磁体。所述反射体和所述阳极被流体(如，水)冷却。现有技术可从靶上溅射出约35％的材料沉积在基片上，与其相比，本发明的磁控管从靶上溅射出多达65％的材料沉积在基片上。

主权项

1、一种用于提供溅射原子以沉积到基片上的设备，所述设备包括：一个靶；一个阳极，其电势相对于所述靶的电势为正，以在所述靶和所述阳极之间，在第一方向，产生一电场；以及一个磁结构，其相对于所述阳极和所述靶放置，以在第二方向产生一磁场，所述第二方向基本与所述第一方向垂直；所述靶被放置在基本与所述磁场的方向一致的方向上。