[发明专利]切割用胶粘薄膜及切割方法有效
申请号: | 02815725.7 | 申请日: | 2002-08-02 |
公开(公告)号: | CN1541257A | 公开(公告)日: | 2004-10-27 |
发明(设计)人: | 山本昌司 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | C09J7/02 | 分类号: | C09J7/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王玮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的切割用胶粘薄膜,是一种在基材薄膜上设置有胶粘剂层的切割用胶粘薄膜,其特征在于,上述胶粘剂层的厚度为1~10μm,而且,所述切割用胶粘薄膜具有这样的粘贴温度,即将切割用胶粘薄膜粘贴在镜面状硅片上后在23℃、进行180°剥离(拉伸速度300mm/min)时的胶粘力达到10N/25mm以上。采用使用本发明的切割用胶粘薄膜的切割方法,半导体晶片等被切断体的成品率高,而且能够防止在切割时发生碎裂。 | ||
搜索关键词: | 切割 胶粘 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
1.一种切割用胶粘薄膜,在基材薄膜上设置有胶粘剂层,其特征在于,所述胶粘剂层的厚度为1~10μm,而且,所述切割用胶粘薄膜具有这样的粘贴温度,即在将切割用胶粘薄膜粘贴在镜面状硅片上后在23℃进行180°剥离(拉伸速度300mm/min)时的胶粘力达到10N/25mm以上。
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