[发明专利]位移检测方法、位移检测装置及其校正方法、及信息记录媒体母盘的记录装置无效
| 申请号： | 02815429.0 | 申请日： | 2002-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN1539074A | 公开（公告）日： | 2004-10-20 |
| 发明（设计）人： | 阿部伸也 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G11B9/10;G11B7/004;G11B7/26;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 将两束光束从相互对置侧的斜上方入射到测定对象(105)表面的同一位置，反射光束入射规定的各检测面的位置由位置检测器(102、104)检测出，并作为位置检测信号分别输出。通过求出各位置检测信号的差或和，检测出测定对象表面的位移，以便抵消包含在各位置检测信号中且表示相对基准位置的变化的成分中的、相互反向的成分。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 检测 方法 装置 及其 校正 信息 记录 媒体 母盘 | ||
【主权项】：
1.一种位移检测方法，使光束在所述测定对象表面上反射，根据所述测定对象表面的位移引起的反射光束的光路的变化，检测出所述测定对象表面的位移，其特征在于，将至少两束光束从相互对置侧的斜上方入射到所述测定对象表面上的同一位置，其反射光束入射规定的各检测面的位置由位置检测器检测出，并作为位置检测信号分别输出，通过求出所述各位置检测信号的差或和，检测出所述测定对象表面的位移，以便抵消包含在所述各位置检测信号中且表示相对基准位置的变化的成分中的、相互反向的成分。
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