[发明专利]用于对物体进行涂层的装置有效
| 申请号： | 02815423.1 | 申请日： | 2002-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN1539155A | 公开（公告）日： | 2004-10-20 |
| 发明（设计）人： | 斯特凡·贝勒;拉斯·贝维格;托马斯·屈佩尔;沃尔弗兰·马林;克里斯托弗·米勒;马滕·瓦尔特 | 申请（专利权）人： | 肖特·格拉斯公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 张兆东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对物体进行涂层的装置。本装置配备具有下列特征：具有一个唯一的微波源；具有两个或多个涂层室；所有涂层室连接在所述唯一的微波源上；设有一个阻抗结构或一个波导管结构用于将产生等离子体的微波能量分配到各涂层室中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物体 进行 涂层 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于物体涂层的装置：具有一个唯一的微波源；具有两个或多个涂层室(10，10’)；所有涂层室(10，10’)连接在所述唯一的微波源上；一个阻抗结构或一个波导管结构用于将产生等离子体的微波能量分配到各涂层室(10，10’)。
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