[发明专利]具有低K介质层的等离子显示板无效
| 申请号： | 02815385.5 | 申请日： | 2002-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN1561531A | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | K·S·劳;Q·尚;T·竹原;T·元;W·R·哈什巴杰;D·梅丹 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J17/04 | 分类号： | H01J17/04;H01J17/49;H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种包括低k介质层的等离子显示板。在一个实施例中，该介质层包括掺杂氟的氧化硅层，例如SiOF层。在另一个实施例中，该介质层包括层。在某些实施例中，在该介质层上淀积覆盖层例如SiN或者SiON。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 介质 等离子 显示 | ||
【主权项】：
1.一种等离子显示板，包括：其上淀积有第一组平行电极的第一板；其上淀积有第二组平行电极的第二板，所述第二组平行电极相对于所述第一组平行电极以直角定向；所述第一和第二板彼此平行定向，以便形成用放电气体填充的空间；和用低k介质层覆盖所述各组平行电极中的至少一组。
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