[发明专利]电弧蒸发装置无效
| 申请号： | 02815378.2 | 申请日： | 2002-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1539154A | 公开（公告）日： | 2004-10-20 |
| 发明（设计）人： | H·库尔廷斯 | 申请（专利权）人： | 瑞士－普拉斯股份有限公司;赫伯特M·加百利 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;赵辛 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明的电弧蒸发装置包括一个阳极、一个起阴极作用的靶(14)、一个连接在该阳极和阴极上的用来在靶表面(16)产生电弧斑点的电压源，以及一个设置在靶下面的包括内、外环形线圈(70、72)的磁性装置(66)，用来产生一个影响靶表面上电弧运动的磁场。为了电弧在规定的轨道上可在靶表面的大部分区域运动，建议磁性装置(66)的至少一个环形线圈(70、72)配置一个在靶表面(16)的区域内影响该环形线圈磁场的高相对磁导率(μr＞＞1)的元件(74、76)。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.电弧蒸发装置，包括一个阳极、一个起阴极作用的或与之连接的靶(14)、一个连接在该阳极和阴极上的用来在该靶上或其自由表面(16)上产生电弧或电弧斑点(18、20)的电压源，以及一个设置在该靶下面的包括一个内环形线圈和一个外环形线圈(70、72)的磁性装置(66)用来产生一个影响靶表面上电弧运动的磁场，其特征为，磁性装置(66)的环形线圈(70、72)的至少一个配置了一个在靶的表面(16)的区域内影响该环形线圈磁场的高相对磁导率(μr＞＞1)的元件(74、76)，内环形线圈(70)配置的该元件四周包围该内环形线圈，而外环形线圈(72)配置的该元件则沿面向该内环形线圈的外环形线圈(72)的表面延伸。
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