[发明专利]划线头和使用该划线头的划线装置以及划线方法有效
| 申请号： | 02814471.6 | 申请日： | 2002-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1863740A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 若山治雄;酒井敏行;林敬子;西尾仁孝;松本润一 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/027 | 分类号： | C03B33/027;H01L21/301 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安;杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的划线头(1)通过伺服马达(3)的旋转进行划线刀的升降，并将伺服马达(3)的旋转力矩作为划线压力向划线刀传递。当横过划痕划线时，划线压力在穿过划痕时暂时增强。此外，当划线头的刀(6)处于沿着脆性材料基板运动的位置时，伺服马达(3)的旋转力矩被控制成预定的限制值。伺服马达(3)被位置控制。 | ||
| 搜索关键词： | 线头 使用 划线 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种划线头，具备在脆性材料基板上形成划痕的划线刀，其特征在于，由伺服马达的旋转来进行划线刀的升降，而且，使伺服马达的旋转力矩作为对划线刀的划线压力传递。
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