[发明专利]用化学蒸汽沉积法制造光纤预型的装置和方法

摘要

一种通过在垂直布置的沉积基底上化学沉积来制造光纤用预型的方法和装置。该装置具有一个化学沉积室，其中包括至少一个可环绕轴线Z－Z旋转地安装着的夹持件，适宜夹持至少一个细长件的至少一端，而该细长件构成化学沉积用基底可用来形成光纤用预型。该室还包括至少一个可沿基本上平行于所说轴线Z－Z的方向Z移动的烧嘴，适宜将形成预型用的化学物质沉积在所说至少一个细长件上；以及至少一个用来收集废弃的化学物质的抽吸元件，所说至少一个抽吸元件相对于所说轴线Z－Z被布置在所说至少一个烧嘴的对侧，并可沿所说方向Z移动而有利地定位在一个与所说至少一个烧嘴不同的高度上(最好比烧嘴低)以使化学沉积室内的流体动力状态优化。

主权项

1.一种通过化学沉积制造光纤用预型的装置，具有一个化学沉积室，该室包括：至少一个夹持件，可环绕一条垂直轴线Z-Z旋转地安装着，适宜垂直地夹持至少一个细长元件的至少一端，该细长元件构成化学沉积用基底以形成光纤用预型；至少一个烧嘴，可沿着一个基本上平行于所说轴线Z-Z的方向移动，适宜将化学物质沉积在所说至少一个细长元件上以形成预型；至少一个抽吸元件，可用来收集废弃的化学物质，所说至少一个抽吸元件相对于所说轴线Z-Z被布置在所说至少一个烧嘴的对侧并可沿着所说方向Z移动；其特征在于，所说至少一个抽吸元件被定位在与所说至少一个烧嘴不同的高度上。