[发明专利]层叠材料的激光加工方法和装置有效

专利信息
申请号: 02811686.0 申请日: 2002-03-29
公开(公告)号: CN1531471A 公开(公告)日: 2004-09-22
发明(设计)人: 小林信高;竹野祥瑞;伊藤健治;森安雅治 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: B23K26/38 分类号: B23K26/38;B23K26/40;H05K3/00;//B23K101:42
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 付建军
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种层叠材料的激光加工方法和装置,利用激光束(20)加工层叠了1个以上的导体层(4,6)和绝缘层(2)的层叠材料(1)。在该激光加工方法中,通过照射激光束(20)以形成加工孔(22)而加工导体层(4)后,接着,对该加工孔(22)照射照射加工点中的光束直径比对导体层(4)照射的激光束光束直径小的激光束以加工层叠在导体层(4,6)上的绝缘层(2)。
搜索关键词: 层叠 材料 激光 加工 方法 装置
【主权项】:
1.一种层叠材料的激光加工方法,该方法是利用激光束加工层叠了1个以上的导体层和绝缘层的层叠材料的方法,其特征在于,包括下列步骤:对上述导体层照射激光束以形成加工孔的导体层加工步骤;以及激光束,加工层叠在上述导体层上的绝缘层在上述导体层加工步骤之后,对上述加工孔照射的绝缘层加工步骤,在加工点中该激光束的光束直径比对上述导体层照射的激光束光束直径小。
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