[发明专利]产生远紫外辐照和软X射线辐照的方法和装置无效
| 申请号： | 02807825.X | 申请日： | 2002-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN1531840A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | J·克莱恩;W·内夫;S·赛维特;K·伯格曼;J·潘克特;M·罗肯 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍弗实用研究促进协会;皇家菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;张志醒 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于以在巴申曲线的左分支上工作的气体放电产生远紫外辐照和软X射线辐照的方法，尤其是用于EUV光刻，其中在放电空间(10)中采用预定的气体压力和两个电极(11、12)，所述的两个电极各有一个在同一对称轴(13)上的开口(14、15)，并且在电压上升(16)的过程中在达到预定的起辉电压(Uz)时构成处在其开口(14、15)区域中的等离子体(17)，所述的等离子体是要产生的辐射(17｀)的源，其中通过对气体压力施加影响和/或通过触发进行等离子体(17)的起辉，并且具中在等离子体(17)起辉时储能器借助于电极(11、12)向等离子体(17)中馈入储存的能量，其特征在于，在使用预定的起辉延迟(18)的条件下进行等离子体(17)的起辉。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 紫外 辐照 射线 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.方法，用于以工作在巴申曲线的左分支上的气体放电产生远紫外辐照和软X射线辐照，尤其是用于EUV光刻，其中在放电空间(10)中采用预定的气体压力和两个电极(11、12)，所述的两个电极各有一个位于同一对称轴(13)的开口(14、15)，并且在电压上升(16)的过程中在达到预定的起辉电压(Uz)时形成处在其开口(14、15)区域中的等离子体(17)，所述的等离子体是要产生的辐射(17`)的源，其中通过对气体压力施加影响和/或通过触发来起辉等离子体(17)，并且其中在等离子体(17)起辉时储能器借助于电极(11、12)向等离子体(17)中馈入储存的能量，其特征在于，在采用预定的起辉延迟(18)的条件下进行等离子体(17)的起辉。
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