[发明专利]带有波长控制的注入种子的F2激光器无效
| 申请号: | 02807812.8 | 申请日: | 2002-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN1742413A | 公开(公告)日: | 2006-03-01 |
| 发明(设计)人: | R·L·桑德斯特伦;R·M·内斯;W·N·帕特洛;A·I·叶尔绍夫;E·D·昂科尔斯;吴忠勋 | 申请(专利权)人: | 西默股份有限公司 |
| 主分类号: | H01S3/22 | 分类号: | H01S3/22;H01S3/223;H01S3/14;H01S3/10;H01S3/00;H01S3/097 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 李家麟 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 本发明提供了一种具有两个激光器子系统的窄带激光器系统。第一激光器子系统(种子激光器)提供了非常窄带脉冲光束,它用于把种子注入第二激光器子系统(从属振荡器或功率放大器),其中窄带脉冲种子光束被放大以产生窄带脉冲输出光束。脉冲电源(脉冲功率)对两个激光器子系统内的放电进行精确定时,使得这两个放电被适当同步。激光器气体包括F2,其分压强低于约1%,缓冲气体由氦、氖或它们的组合组成。通过调整第一激光器子系统内下列参数的一个或多个而提供对输出光束中心波长的控制:总激光器气压、氦或氖的相对浓度、F2分压强、激光器气体温度、放电电压和脉冲能量。 | ||
| 搜索关键词: | 带有 波长 控制 注入 种子 f2 激光器 | ||
【主权项】:
1.一种注入种子的窄带气体放电脉冲激光器系统,包括:A)第一放电激光器子系统,包括:1)包含激光器气体的第一激光器室,以及定义第一放电区域的第一组电极,其中放电在所述激光器内产生增益媒质,用于产生带有一带宽的第一激光光束,以及2)光线变窄装置,用于减少所述第一激光光束的带宽以产生窄带第一激光器子系统输出光束;B)第二放电激光器子系统,包括:包含循环激光器气体的第二激光器室,以及定义第二放电区域的第二组电极,其中放电产生增益媒质,用于放大所述第一激光器子系统的输出光束;以及C)中心线波长控制装置,用于控制所述激光器系统的输出光束的中心线波长。
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