[发明专利]空间光调制方法和装置

摘要

本发明公开了一种采用相位调制微反射镜阵列、经聚焦和X－Y对称而产生纯强度图像的方法，该图像具有高的图像保真度，良好的稳定性。该方法采用了包括至少一个倾斜反射镜元件的像素和不同方式倾斜的相邻像素，但是在布图中这些像素被设计成在不同倾斜像素之间能产生有效的平均。所述布图是这样的，即使单个像素产生了相对于特定方向非对称的反射或散射图形，但每个相邻像素在一起构成的图形是对称的。本发明可以用单反射镜像素代替多反射镜像素，从而使设计和制造更为简单，还可以减小像素尺寸。权利要求书，说明书及附图更具体描述了本发明的各方面的内容。

主权项

1.一种用于光学投影系统中的空间光强度调制方法，包括：提供独立寻址反射镜元件的规则网格，所述的反射镜元件具有枢轴转动操作，其中布置网格中的反射镜元件，使得第一反射镜元件具有与相邻第二反射镜元件基本上不同的枢轴转动操作；激励所述反射镜元件以形成图形；以及将来自所述反射镜元件的光投影到像平面上。