[发明专利]用于反射像素平板的投影透镜无效
申请号: | 02805487.3 | 申请日: | 2002-02-25 |
公开(公告)号: | CN1493014A | 公开(公告)日: | 2004-04-28 |
发明(设计)人: | M·H·克赖特泽尔 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | G02B9/60 | 分类号: | G02B9/60;G02B9/62;G02B13/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 李家麟 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 提供和像素化平板(PP)一同使用的投影透镜(13)。所述投影透镜具有负的第一单元(U1),它具有至少一个非球形表面,以及正的第二单元(U2),它具有三个子单元(US1,US2,US3),它们具有正/负/正的结构。所述透镜的孔径光阑(AS)置于透镜的短共轭端或者置于第三子单元(US3)内或者接近于该子单元。所述透镜特别适合在使用反射式像素化平板的侧照明的紧凑投影系统的制造中使用。 | ||
搜索关键词: | 用于 反射 像素 平板 投影 透镜 | ||
【主权项】:
1.一种具有孔径光阑、光轴、长共轭侧、短共轭侧、放大率Ф0和后焦距BFL的投影透镜,所述投影透镜用来形成像素化平板的象,从所述长共轭侧到所述短共轭侧依次包括:(A)第一透镜单元,它具有放大率ФU1并包括至少一个非球形表面;以及(B)第二透镜单元,它具有放大率ФU2并从所述长共轭侧到所述短共轭侧依次包括:(i)第一透镜子单元,它具有放大率Фs1;(ii)第二透镜子单元,它具有放大率Фs2以及具有整体向短共轭凹入的凹凸透镜的形状;以及,(iii)第三透镜子单元US3,具有放大率ФS3以及在其长共轭侧的表面S3;其中:(a)ФU1<0;(b)ФU2>0;(c)ФS1>0;(d)ФS2<0;(e)ФS3>0;(f)BFL·Ф0≥1.0;及(g)透镜的孔径光阑或者在第三透镜子单元内或者在长共轭方向上与表面S3隔开距离D,它满足以下关系: D·Ф0≤0.1。
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