[发明专利]多层膜滤波器用玻璃基板以及多层膜滤波器无效
| 申请号： | 02802031.6 | 申请日： | 2002-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1463257A | 公开（公告）日： | 2003-12-24 |
| 发明（设计）人： | 吉原聪;小林正宏;坂本明彦 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/095 | 分类号： | C03C3/095;C03C3/068;G02B5/28 |
| 代理公司： | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本滋贺*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种多层膜滤波器用玻璃基板，其在直径为50mm的圆内，平坦度为200nm以下，于－30℃～70℃的温度下，具有90～130×10－7/℃的膨胀系数。因为在直径为50mm的圆内其平坦度为200nm以下，所以多层膜的膜厚度的不平均会变小。当从一枚玻璃基板上采取多个多层膜滤波器时，其每一个多层膜滤波器间的中心波长的变化为中心波长+/－100pm。如此，多层膜滤波器的生产率可提高。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 滤波 器用 玻璃 以及 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种多层膜滤波器用玻璃基板，其特征在于，该玻璃基板在直径为50mm的圆内，平坦度为200nm以下，于-30℃～70℃的温度范围内，具有90～130×10-7/℃的膨胀系数。
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