[实用新型]对于平板表面形貌的干涉测量装置

摘要

一种对于平板表面形貌的干涉测量装置，包括产生干涉光束的物光和参考光。物光是由激光光源发射的激光束经第三透镜和第二透镜的平行光束射到待测透明平板上后反射回来的光束经第二透镜和第一分束器的反射，透过第四透镜、第二分束器、第三分束器、第五透镜至光折变晶体，由光折变晶体返回再经第五透镜至第三分束器。参考光是由第二分束器反射的光束经第一反射镜、第七透镜、第六透镜和第二反射镜至第三分束器与物光相遇产生干涉。与在先技术相比，本实用新型在物光的光路上置有光折变晶体产生共轭光，使得测量灵敏度提高了一倍。

主权项

1.一种对于平板表面形貌的干涉测量装置，包括：带有驱动电源(8)的激光光源(7)，由激光光源(7)发射的激光束经第三透镜(11)和第二透镜(4)准直为平行激光束射到待测透明平板(6)上，在第三透镜(11)和第二透镜(4)之间的光路上置有第一分束器(3)；由物光(Gw)和参考光(Gc)产生的干涉光束经第一透镜(2)会聚在光电探测器(1)的接收面上，光电探测器(1)的输出经过模数转换器(10)输进计算机(9)里；其特征在于：所说的物光(Gw)是由待测透明平板(6)反射回来的激光束经过第二透镜(4)和第一分束器(3)的反射后，再透过第四透镜(12)、第二分束器(13)、第三分束器(14)和第五透镜(15)聚焦于光折变晶体(16)内，由光折变晶体(16)返回的光束再透过第五透镜(15)至第三分束器(14)上；所说的参考光(Gc)是由待测透明平板(6)反射回来的激光束经过第二透镜(4)和第一分束器(3)的反射后，再透过第四透镜(12)射到第二分束器(13)上，由第二分束器(13)反射的光束经过置于平移台(21)上光程差调节器(22)内的反射镜(20)的反射，再透过光程差调节器(22)内的第七透镜(19)和第六透镜(18)后经第二反射镜(17)的反射至第三分束器(14)上，与上述物光(Gw)相遇产生干涉光束射向第一透镜(2)。