[实用新型]基板承载盘的改良无效
申请号: | 02252019.8 | 申请日: | 2002-08-28 |
公开(公告)号: | CN2563600Y | 公开(公告)日: | 2003-07-30 |
发明(设计)人: | 申请(专利权)人: | ||
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种基板承载盘的改良,其包括:一基盘,为盘体,其具两组供基准座定位的孔洞组;及两组供各两条供定位座定位的槽体;两基准座,固定连结于所述的孔洞组,并具一可于其上滑移定位的具直角突起的座块;两定位座,可由两端同时滑移于所述的槽体,并各具一可于其上滑移定位的具直角突起的定位座块;由两座块及两定位座块的直角突起,以界定出一矩形平面以承载并定位基板。 | ||
搜索关键词: | 承载 改良 | ||
【主权项】:
1、一种基板承载盘的改良,其特征在于,包括:一基盘,为盘体,其具两组供基准座定位的孔洞组;及两组供各两条供定位座定位的槽体;两基准座,固定连结于所述的孔洞组,并具一可于其上滑移定位的具直角突起的座块;两定位座,由两端同时滑移于所述的槽体,并各具一于其上滑移定位的具直角突起的定位座块;两座块及两定位座块的直角突起界定出一矩形平面承载并定位基板。
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