[实用新型]一种程控电脉冲型多功能离子轰击炉

摘要

本实用新型是涉及一种程控电脉冲型多功能离子轰击炉，工件和温控仪之间设有接触式K偶，并通过高压隔离放大测温装置与温控仪相连接，辅助电加热器采用由晶闸管和电子线路组成的高压整流桥，可自动无级平滑调温的直流电源。气体辉光放电轰击工件采用由绝缘栅双极晶体管IGBT单管和辅助电路构成的高电压大功率直流脉冲电源。钟罩由钟罩盖和钟罩体两部分组成，钟罩盖上设有电动启盖装置。本实用新型有益的效果是：控温采用SR53程序控制器、能十段PID控制、便于工艺人员预先设定工艺程序控制。热电偶可以直接接触工件、炉内装有氨气分解率传感元件，气体流量、气压、抽气速率，确保温度上、中、下均匀稳定完成整个工艺过程。

主权项

1、一种高效节能环保的多功能离子轰击炉，它包括钟罩(1)和钟罩底座(2)组成的真空腔，真空腔体内壁面依次设有保温层(3)、辅助电加热器(4)和阳极(5)，在真空腔中间设有阳极(5)和阴极工作台(6)，接有可调控的直流脉冲电源，其特征在于：1)、在工件和温控仪之间设有接触式K偶(9)，其引线与阴极工作台(6)相连，另一端通过高压隔离并精密放大测温电路与温控仪相连接；2)、气体辉光放电轰击工件采用由绝缘栅双极晶体管IGBT单管和辅助电路构成的高电压大功率直流脉冲电源(11)，具有响应速度与采用频率完全一致的高速灭弧保护；3)、钟罩(1)由钟罩盖和钟罩体两部分组成，钟罩盖上设有电动启盖装置，电源通过真空继电器与控制电动启盖装置的电机相连接；4)、辅助电加热器(4)采用由晶闸管和电子线路组成的高压整流桥，可自动无级平滑调温的直流电源。