[实用新型]集成铁电微镜式光开关无效
| 申请号： | 02243923.4 | 申请日： | 2002-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN2566285Y | 公开（公告）日： | 2003-08-13 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/28;H04J14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 集成铁电微镜式光开关属于光通信用的微型光开关领域，其特征在于：它包含有铁电薄膜悬臂梁及与该梁做成一体的微反射镜，所述的铁电膜可以是单层、双层或多层；所述的悬臂梁是绝缘层/金属/铁电材料/金属/绝缘材料/衬底层构成的多层膜结构；悬臂梁衬底材料是Si或GaAS或GaN或InP半导体材料或它们的复合。相应地给出了一种SiO2/Pt/PZT(锆钛酸铅)/Pt/Ti/SiO2/Si复合膜的例子。同时给出了典型的集成铁电微镜式光开关的制作流程图。与现有的可动镜式光开关相比，它具有体积小、结构简单、容易控制与操作、可靠性高、易加工且适合批量生产等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 铁电微镜式光 开关 | ||
【主权项】：
1.集成铁电微镜式光开关，其特征在于：它含有铁电薄膜悬臂梁以及与该梁做成一体的微反射镜。
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