[实用新型]测温结点悬浮的薄膜热电偶

摘要

本实用新型涉及一种测温结点悬浮的薄膜热电偶，包括由固体绝缘材料制做的永久性基底，热电偶薄膜和热电偶薄膜，热电偶薄膜和热电偶薄膜分别镀覆于永久性基底的表面上，其相重叠的测温结点与永久性基底表面不接触，呈悬浮状；测温结点悬浮于永久性基底的上方或一侧，永久性基底材质为陶瓷、硅片、玻璃或有机聚合物；形状为薄片、细管或细杆形状；热电偶薄膜厚度为1纳米－0.1毫米，其材质为相配对的金属材料；配对材料为铂铑－铂、镍铬－康铜、半导体或金属氧化物；该测温结点悬浮的薄膜热电偶，由于测温的结点与永久性基底相脱离，形成悬空或悬臂结构，因此可以显著减小结点的热惯性，提高对所测量对象温度变化的响应速率。

主权项

1.一种测温结点悬浮的薄膜热电偶，包括由固体绝缘材料制做的永久性基底(1)、热电偶薄膜(3)和热电偶薄膜(4)，其特征在于，所述热电偶薄膜(3)和热电偶薄膜(4)分别镀覆于永久性基底(1)的表面上，其相重叠的测温结点(5)与永久性基底(1)表面不接触，呈悬浮状。