[实用新型]自适应触点的微机械继电器

摘要

本实用新型公开了一种自适应触点的微机械继电器，它涉及半导体器件领域中硅继电器器件。它由基板、驱动电极、接触电极、单晶硅簧片、绝缘层、自适应触点等部件构成。它采用驱动电极上施加电压时，静电力驱动单晶硅簧片和其上的自适应触点与接触电极产生接触通/断动作，同时自适应触点在接触力作用下产生变形，保证微机械继电器的多个触点同时接触，完成继电器的通/断作用。本实用新型采用微电子加工技术，具有结够简单、体积小、重量轻、成本低、一致性好、电性能可靠等特点，便于批量生产，适合电子线路领域中的自动测试电路、切换电路等应用场合，作为继电器开关器件。

主权项

1、一种自适应触点的微机械继电器，它包括基板(1)、驱动电极(2)、接触电极(3)、单晶硅簧片(4)、绝缘层(5)，其特征在于还包括自适应触点(6)，其中在基板(1)面上通过溅射工艺分别制作驱动电极(2)、接触电极(3)结构，基板(1)上通过阳极键合工艺制作单晶硅簧片(4)结构，单晶硅簧片(4)下面氧化一层绝缘层(5)，单晶硅簧片(4)前端的绝缘层(5)下面加工两端空隙触点片结构的自适应触点(6)，驱动电极(2)与单晶硅簧片(4)之间外接驱动电压，接触电极(3)之间外接控制接点。