[实用新型]一种具有高时间分辨的电子显微镜无效

专利信息
申请号: 02235910.9 申请日: 2002-06-03
公开(公告)号: CN2560091Y 公开(公告)日: 2003-07-09
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: H01J37/26 分类号: H01J37/26
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 王凤华
地址: 100080 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型涉及一种具有高时间分辨的电子显微镜,该显微镜包括超短脉冲激光器、真空靶室、光聚焦元件、靶部件、电子光阑或电子束能谱控制部件、试样支撑调节部件、图像接收部件;在真空靶室内或外设有激光器,激光器产生的脉冲经光聚焦元件聚焦后,与真空靶室内的靶相互作用,产生高能电子束脉冲,经电子光阑或电子束能谱控制部件调制后,与试样支撑调节部件内的待测样品相互作用产生测试图像,由图像接收部件接收;本实用新型将激光等离子体的超快时间分辨能力引入电镜技术,在传统电镜高空间分辨率的基础上,建造具有超快时间特征的高时间分辨率电镜,其电子束能量高,通用性强,可满足材料、生物、化学及物理等各方面的科研、开发要求。
搜索关键词: 一种 具有 时间 分辨 电子显微镜
【主权项】:
1、一种具有高时间分辨的电子显微镜,包括超短脉冲激光器(1)、真空靶室(4)、光聚焦元件(5)、靶部件(6)、电子光阑或电子束能谱控制部件(8)、试样支撑调节部件(11)、图像接收部件(13);其特征在于在真空靶室(4)内或外设有超短脉冲激光器(1),在真空靶室(4)内,激光器(1)产生的超短激光脉冲的光路上设光聚焦元件(5),在光聚焦元件(5)的焦点处设有靶部件(6);在靶部件(6)的靶面法线方向设有电子光阑或电子束能谱控制部件;在电子光阑或电子束能谱控制部件出射电子通道上设试样支撑调节部件(11),在试样支撑调节部件(11)后设有图像接收部件(13)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于,未经许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/02235910.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

同类专利
专利分类
×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top