[实用新型]用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动器

摘要

本实用新型公开了一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动器。它具有恒温腔，恒温腔由冷热驱动器控制，在恒温腔内设有轨导，轨导两侧设有驱动绕组，下端设有悬浮磁钢，在导轨上设有驱动装置，在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢，在驱动装置下端设有与导轨下端的悬浮磁钢相对应的永磁体、励磁线圈、磁极铁心，在驱动装置两侧还设有力传感器，上端设有温度传感器，在导轨下端设有温度传感器。本实用新型的优点是1)在动静态摩擦系数不变的情况下，能够较大减小动静态摩擦力，从而抑制因动静态摩擦力不同所引起的振荡。2)即使突然失去电流，也不会完全失去吸浮力并造成冲击而影响驱动器及导轨的精度。3)稳定性好。4)可控性好。

主权项

1.一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动器，其特征在于它具有恒温腔(2)，恒温腔由冷热驱动器(1)控制，在恒温腔内设有轨导(13)，轨导(13)两侧设有驱动绕组(5)，下端设有悬浮磁钢(12)，在导轨上设有驱动装置(3)，在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢(6)，在驱动装置下端设有与导轨下端的悬浮磁钢相对应的永磁体(7)、励磁线圈(8)、磁极铁心(9)，在驱动装置两侧还设有力传感器(11)，上端设有温度传感器(4)，在导轨下端设有温度传感器(10)。