[实用新型]准分子激光微加工用的均束器无效
| 申请号： | 02200788.1 | 申请日： | 2002-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN2535182Y | 公开（公告）日： | 2003-02-12 |
| 发明（设计）人： | 左铁钏;李呈德;陈涛 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06 |
| 代理公司： | 北京工大思海专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张慧 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种准分子激光微加工用的均束器属于激光微加工及其应用技术领域。它包括有在内伸缩镜筒T中，顺次组合排列的一系列的紫外光学透镜组成，特征在于它是将准分子激光器出射的激光经柱面扩束镜L1、L2，扩束后顺次入射相互之间距离可调的正负两级复眼小透镜阵列L3、L4，透射子波束入射到收集透镜L5。其中，两级复眼中每一级由前后紧贴正交的透镜阵列构成，透镜阵列采用了相互之间沿其长轴侧面粘接的一系列现有的条形小柱面透镜。本实用新型由于采用了两级小透镜阵列组成，通过将原始光束进行重新分割组合而达到均束的目的，从而改变到达掩模面上的准分子激光分布以实现加工结果的一致性。可用于准分子激光微加工掩模投影加工法。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 工用 均束器 | ||
【主权项】：
1、一种准分子激光微加工用的均束器，包括有在内伸缩镜筒T中，顺次组合排列的一系列的紫外光学透镜组成，其特征在于它是将准分子激光器出射的激光经柱面扩束镜L1、L2，扩束后顺次入射正负两级复眼小透镜阵列L3、L4，透射子波束入射到收集透镜L5，其中，两级复眼中每一级由前后紧贴正交的透镜阵列构成，透镜阵列采用了相互之间沿其长轴侧面粘接的一系列现有的条形小柱面透镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京工业大学，未经北京工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02200788.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真空热管分体承压式太阳热水器
- 下一篇：一种多功能碾米机
